标准概要

硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位长沙韶光微电子总公司。 GB/T 16527-1996 现行本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 16527-1996

发布日期 1996-09-09

实施日期 1997-05-01

标准号 GB/T 16527-1996

发布日期 1996-09-09

实施日期 1997-05-01

起草单位

长沙韶光微电子总公司

起草人

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申明

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