圆形石英玻璃光掩模基板规范

国家标准《圆形石英玻璃光掩模基板规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 长沙韶光微电子总公司 。 GB/T 16523-1996 现行 本标准等效采用其他国际标准：SEMI P4:1992。 采标中文名称:。