标准概要

电子工业用气体氦

Gases for electronic industry--Helium

国家标准《电子工业用气体氦》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位化学工业部西南化工研究院。 GB/T 16943-1997 废止 GB/T 16943-2009 （全部代替）本标准等同采用ITU国际标准：SEMI C3.20:1992(1995)。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 16943-1997

发布日期 1997-08-13

实施日期 1998-05-01

废止日期 2010-05-01

标准号 GB/T 16943-1997

发布日期 1997-08-13

实施日期 1998-05-01

废止日期 2010-05-01

起草单位

化学工业部西南化工研究院

起草人

GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦

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申明

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电子工业用气体 氦

电子工业用气体氦