标准概要

电子级水中微粒的仪器测试方法

Test method for particles in electronic grade water by instrument

国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位中国科学院半导体研究所。 GB/T 11446.9-1989 （全部代替） GB/T 11446.9-1997 废止 GB/T 11446.9-2013 （全部代替）本标准非等效采用ITU国际标准：ASTM D5127:1990。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 11446.9-1997

发布日期 1997-09-01

实施日期 1998-09-01

废止日期 2014-08-15

标准号 GB/T 11446.9-1997

发布日期 1997-09-01

实施日期 1998-09-01

废止日期 2014-08-15

起草单位

中国科学院半导体研究所

起草人

GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法

GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

GB/T 11446.10-2013 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法

GB/T 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法

GB/T 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法

GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

GB/T 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法

20231180-T-469 电子级磷酸

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20232465-T-469 电子级四甲基硅烷

推荐标准

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申明

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