中国科学院半导体研究所
GB/T 11446.1-2013 电子级水
GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则
20231180-T-469 电子级磷酸
20232463-T-469 电子级四氯化钛
20232465-T-469 电子级四甲基硅烷
20232462-T-469 电子级八甲基环四硅氧烷
20231182-T-469 电子级四(二甲氨基)钛
20231195-T-469 电子级五(二甲氨基)钽
20231185-T-469 电子级N-甲基-2-吡咯烷酮
GB/T 28159-2011 电子级磷酸