标准概要

硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

国家标准《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料厂。 GB 1558-1983 （全部代替） GB/T 1558-1997 废止 GB/T 1558-2009 （全部代替）本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F123:1991。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 1558-1997

发布日期 1997-12-22

实施日期 1998-08-01

废止日期 2010-06-01

标准号 GB/T 1558-1997

发布日期 1997-12-22

实施日期 1998-08-01

废止日期 2010-06-01

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

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申明

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