标准概要

硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection

国家标准《硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位南开大学、天津市半导体材料厂。 GB/T 17169-1997 废止

基础信息

标准号 GB/T 17169-1997

发布日期 1997-12-22

实施日期 1998-08-01

废止日期 2004-10-14

标准号 GB/T 17169-1997

发布日期 1997-12-22

实施日期 1998-08-01

废止日期 2004-10-14

起草单位

南开大学

天津市半导体材料厂

起草人

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