用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

国家标准《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中国科学院缩微电子中心 。 GB/T 16878-1997 现行 本标准等同采用其他国际标准：SEMI P19:1992。 采标中文名称:。