标准概要

碳化硅单晶抛光片

Polished monocrystalline silicon carbide wafers

国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。主要起草人陈小龙、彭同华、佘宗静、王波、刘春俊、李素青、郭钰、娄艳芳、郑红军、杨建、骆红、钮应喜。 GB/T 30656-2014 （全部代替） GB/T 30656-2023 现行

基础信息

标准号 GB/T 30656-2023

发布日期 2023-03-17

实施日期 2023-10-01

全部代替标准 GB/T 30656-2014

标准号 GB/T 30656-2023

发布日期 2023-03-17

实施日期 2023-10-01

全部代替标准 GB/T 30656-2014

起草单位

北京天科合达半导体股份有限公司

南京国盛电子有限公司

有色金属技术经济研究院有限责任公司

中国科学院物理研究所

安徽长飞先进半导体有限公司

起草人

陈小龙

彭同华

刘春俊

李素青

郑红军

杨建

佘宗静

王波

郭钰

娄艳芳

骆红

钮应喜

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