标准概要

真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。主要起草单位上海曙光机械制造厂。 GB/T 11164-1989 （全部代替） GB/T 11164-1999 废止 GB/T 11164-2011 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 11164-1999

发布日期 1999-04-08

实施日期 1999-09-01

废止日期 2012-03-01

标准号 GB/T 11164-1999

发布日期 1999-04-08

实施日期 1999-09-01

废止日期 2012-03-01

起草单位

上海曙光机械制造厂

起草人

GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

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申明

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