标准概要

关键尺寸（CD）计量方法

CD Metrology procedures

国家标准《关键尺寸（CD）计量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院微电子中心。 GB/T 17864-1999 现行本标准等同采用其他国际标准：SEMI P24:1994。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 17864-1999

发布日期 1999-09-13

实施日期 2000-06-01

标准号 GB/T 17864-1999

发布日期 1999-09-13

实施日期 2000-06-01

起草单位

中国科学院微电子中心

起草人

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申明

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