标准概要

电子工业用气体六氟化硫

Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

国家标准《电子工业用气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中核红华特种气体股份有限公司。 GB/T 18867-2002 废止 GB/T 18867-2014 （全部代替）本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.24:1995。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 18867-2002

发布日期 2002-10-15

实施日期 2003-04-01

废止日期 2015-07-01

标准号 GB/T 18867-2002

发布日期 2002-10-15

实施日期 2003-04-01

废止日期 2015-07-01

起草单位

中核红华特种气体股份有限公司

起草人

20231011-T-469 电子气体六氟化硫

GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫

20200510-T-604 压力式六氟化硫气体密度控制器

DL/T 1986-2019 六氟化硫混合气体绝缘设备气体检测技术规范

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢

SJ/T 11517-2015 电子工业用气体一氧化碳

GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧

GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦

推荐标准

GB/T 9253-2022 石油天然气工业套管、油管和管线管螺纹的加工、测量和检验

GB/T 14425-1993 锅炉用水和冷却水分析方法硫化氢的测定分光光度法

GB/T 224-2008 钢的脱碳层深度测定法

GB/T 20390.2-2006 纺织品床上用品燃烧性能第2部分：小火焰为点火源的可点燃性试验方法

GB/T 37869.5-2019 玻璃容器真空凸缘瓶口第5部分：四旋43和48普通规格

GB/T 8804.1-2003 热塑性塑料管材拉伸性能测定第1部分:试验方法总则

GB/T 16267-1996 包装材料试验方法气相缓蚀能力

GB/T 41340.2-2022 海洋能电站发电量计算技术规范第2部分：波浪能

GB/T 8815-2008 电线电缆用软聚氯乙烯塑料

GB/T 34923.2-2017 路灯控制管理系统第2部分：主站技术规范

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

电子工业用气体 六氟化硫

电子工业用气体六氟化硫