标准概要

电子工业用气体六氟化硫

Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride

国家标准《电子工业用气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中核红华特种气体股份有限公司。 GB/T 18867-2002 废止 GB/T 18867-2014 （全部代替）本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.24:1995。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 18867-2002

发布日期 2002-10-15

实施日期 2003-04-01

废止日期 2015-07-01

标准号 GB/T 18867-2002

发布日期 2002-10-15

实施日期 2003-04-01

废止日期 2015-07-01

起草单位

中核红华特种气体股份有限公司

起草人

20231011-T-469 电子气体六氟化硫

GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫

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申明

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电子工业用气体 六氟化硫

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