标准概要

物理气相沉积TiN薄膜技术条件

Specifications of physical vapour deposition TiN films

国家标准《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》由TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。主要起草单位武汉材料保护研究所。 GB/T 18682-2002 现行

基础信息

标准号 GB/T 18682-2002

发布日期 2002-03-10

实施日期 2002-08-01

标准号 GB/T 18682-2002

发布日期 2002-03-10

实施日期 2002-08-01

起草单位

武汉材料保护研究所

起草人

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申明

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