标准概要

电子工业用气体高纯氯

Gases for electronic industry--High purity chlorine

国家标准《电子工业用气体高纯氯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位光明化工研究设计院。 GB/T 18994-2003 废止 GB/T 18994-2014 （全部代替）本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.32:1995。采标中文名称:。

基础信息

标准号 GB/T 18994-2003

发布日期 2003-03-05

实施日期 2003-08-01

废止日期 2015-07-01

标准号 GB/T 18994-2003

发布日期 2003-03-05

实施日期 2003-08-01

废止日期 2015-07-01

起草单位

光明化工研究设计院

起草人

GB/T 18994-2014 电子工业用气体高纯氯

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢

SJ/T 11517-2015 电子工业用气体一氧化碳

GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧

GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦

GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷

GB/T 33774-2017 电子工业用气体丙烯

20231008-T-469 电子气体大宗气体

推荐标准

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申明

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电子工业用气体 高纯氯

电子工业用气体高纯氯