标准概要

硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers

国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京有色金属研究总院。 GB/T 12964-1996 （全部代替） GB/T 12964-2003 废止 GB/T 12964-2018 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 12964-2003

发布日期 2003-06-16

实施日期 2004-01-01

废止日期 2019-06-01

全部代替标准 GB/T 12964-1996

标准号 GB/T 12964-2003

发布日期 2003-06-16

实施日期 2004-01-01

废止日期 2019-06-01

全部代替标准 GB/T 12964-1996

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

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申明

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