MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

国家标准《MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心有限公司 、北京智芯传感科技有限公司 、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 、厦门光莆电子股份有限公司 、江门市润宇传感器科技有限公司 、宁波志伦电子有限公司 、广州奥松电子股份有限公司 、华东光电集成器件研究所 、深圳市美思先端电子有限公司 、南京高华科技股份有限公司 、中国科学院微电子研究所 、湖南国天电子科技有限公司 、南京沃天科技股份有限公司 、广州广电计量检测股份有限公司 、武汉飞恩微电子有限公司 、深圳安培龙科技股份有限公司 、昆山传感器测控技术有限公司 。 主要起草人 张威 、顾枫 、李根梓 、陈广忠 、李宋 、张亚婷 、张良 、陈立国 、林瑞梅 、李树成 、茅曙 、张宾 、王鹏 、李晓波 、许宙 、王玮冰 、陈路 、高峰 、明志茂 、曹万 、陈君杰 、王冰 。 GB/T 42191-2023 现行