标准概要

硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method of particles on silicon wafer surfaces

国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。主要起草单位北京有色金属研究总院。 GB/T 19921-2005 废止 GB/T 19921-2018 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 19921-2005

发布日期 2005-09-19

实施日期 2006-04-01

废止日期 2019-07-01

标准号 GB/T 19921-2005

发布日期 2005-09-19

实施日期 2006-04-01

废止日期 2019-07-01

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法

SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法

20240136-T-469 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

20240138-T-469 氮化铝单晶抛光片

20240494-T-469 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

20240826-T-469 颗粒生物气溶胶过滤效率测试方法

推荐标准

GB/T 5154-2022 镁及镁合金板、带材

GB/T 33035-2016 水仙黄条病毒检疫鉴定方法

GB/T 21019-2007 金属切削刀具铣刀术语

GB/T 41997.3-2022 机械电气安全基于视觉的电敏保护设备第3部分：采用立体视觉保护器件特殊要求

GB/T 11338-1989 水中钾-40的分析方法

GB/T 17257.4-1998 集尿袋第4部分:泄漏的试验方法

GB/T 3511-2008 硫化橡胶或热塑性橡胶耐候性

GB 18382-2001 肥料标识内容和要求

GB/T 20545-2006 银行业务和相关金融服务信息交换托收指示格式

GB/T 19448.5-2004 圆柱柄刀夹第5部分:装一个以上矩形车刀的D型刀夹

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签