标准概要

硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method of particles on silicon wafer surfaces

国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。主要起草单位北京有色金属研究总院。 GB/T 19921-2005 废止 GB/T 19921-2018 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 19921-2005

发布日期 2005-09-19

实施日期 2006-04-01

废止日期 2019-07-01

标准号 GB/T 19921-2005

发布日期 2005-09-19

实施日期 2006-04-01

废止日期 2019-07-01

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法

SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法

20240136-T-469 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

20240138-T-469 氮化铝单晶抛光片

20240494-T-469 碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

20240826-T-469 颗粒生物气溶胶过滤效率测试方法

推荐标准

GB/T 34818-2017 农田水分盈亏量的计算方法

GB/T 17149.4-1997 化妆品毛发损害诊断标准及处理原则

GB/T 10357.2-2013 家具力学性能试验第2部分：椅凳类稳定性

GB/T 42797-2023 二氧化碳捕集、输送和地质封存管道输送系统

GB/T 5305-1985 手工具包装、标志、运输与贮存

GB/T 17537-1998 订购单应答报文

GB/T 19077-2024 粒度分析激光衍射法

GB/T 10499-1989 糖料甘蔗试验方法

GB/T 34407-2017 塑料管道壁厚超声波检测方法

GB/T 3420-1982 灰口铸铁管件

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签