标准概要

硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method of particles on silicon wafer surfaces

国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。主要起草单位北京有色金属研究总院。 GB/T 19921-2005 废止 GB/T 19921-2018 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 19921-2005

发布日期 2005-09-19

实施日期 2006-04-01

废止日期 2019-07-01

标准号 GB/T 19921-2005

发布日期 2005-09-19

实施日期 2006-04-01

废止日期 2019-07-01

起草单位

北京有色金属研究总院

起草人

GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

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申明

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