微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、北京燕东微电子科技有限公司 、宁波芯健半导体有限公司 、深圳市美思先端电子有限公司 、上海临港新片区跨境数据科技有限公司 、广州奥松电子股份有限公司 。 主要起草人 张大成 、杨芳 、李根梓 、顾枫 、刘鹏 、王旭峰 、李凤阳 、高程武 、于志恒 、陈艺 、华璇卿 、刘若冰 、张彦秀 、罗书明 、武斌 、张启心 、张宾 。 GB/T 42896-2023 现行