微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、北京燕东微电子科技有限公司 、无锡韦感半导体有限公司 、深圳市美思先端电子有限公司 、南京飞恩微电子有限公司 、广州奥松电子股份有限公司 、上海临港新片区跨境数据科技有限公司 。 主要起草人 张大成 、杨芳 、李根梓 、顾枫 、刘鹏 、高程武 、于志恒 、王旭峰 、李凤阳 、华璇卿 、陈艺 、刘若冰 、张彦秀 、万蔡辛 、武斌 、曹万 、张宾 、张启心 。 GB/T 42895-2023 现行