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  标准概要

砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)、全国有色金属标准化技术委员会联合归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京有色金属研究总院 。 主要起草人 王彤涵 。 GB/T 8758-1989 (全部代替) GB/T 8758-1988 (全部代替) GB/T 8758-2006 现行
  基础信息
标准号 GB/T 8758-2006
发布日期 2006-07-18
实施日期 2006-11-01
全部代替标准 GB/T 8758-1988,GB/T 8758-1989
标准号 GB/T 8758-2006
发布日期 2006-07-18
实施日期 2006-11-01
全部代替标准 GB/T 8758-1988,GB/T 8758-1989
  起草单位
  北京有色金属研究总院
  起草人
  王彤涵
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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