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  标准概要

硅多晶真空区熔基硼检验方法

Polycrystalline silicon - examination method - vacuum zone - melting on boron
国家标准《硅多晶真空区熔基硼检验方法》 由610(中国有色金属工业协会)归口 ,主管部门为中国有色金属工业协会。 主要起草单位 峨眉半导体材料厂 。 GB/T 4060-1983 (全部代替) GB/T 4060-2007 废止 GB/T 4060-2018 (全部代替)
  基础信息
标准号 GB/T 4060-2007
发布日期 2007-09-11
实施日期 2008-02-01
废止日期 2019-06-01
全部代替标准 GB/T 4060-1983
标准号 GB/T 4060-2007
发布日期 2007-09-11
实施日期 2008-02-01
废止日期 2019-06-01
全部代替标准 GB/T 4060-1983
  起草单位
  峨眉半导体材料厂
  起草人
  GB/T 4060-2018  硅多晶真空区熔基硼检验方法
  GB/T 4059-2018  硅多晶气氛区熔基磷检验方法
  GB/T 35309-2017  用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
  GB/T 29057-2023  用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
  GB/T 4061-2009  硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
  JB/T 12981-2016  超硬磨料 金属加工用多晶立方氮化硼
  YS/T 724-2016  多晶硅用硅粉
  HG 2274-1992  钙镁磷肥用硅镁质半自熔性磷矿
  SJ/T 11853-2022  正压悬浮区熔单晶硅炉
  JB/T 10553-2006  真空技术 扩散硅压阻真空计
  推荐标准
  申明
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