标准概要

电子工业用气体三氟化氮

Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride

国家标准《电子工业用气体三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院。主要起草人王少楠、余启富、宋再卿、刘新明等。 GB/T 21287-2007 废止 GB/T 21287-2021 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 21287-2007

发布日期 2007-12-14

实施日期 2008-07-01

废止日期 2022-05-01

标准号 GB/T 21287-2007

发布日期 2007-12-14

实施日期 2008-07-01

废止日期 2022-05-01

起草单位

核工业理化工程研究院特气中心

黎明化工研究院

西南化工研究设计院

中核红华特种气体股份有限公司

国家标准物质研究中心

起草人

王少楠

余启富

宋再卿

刘新明

推荐标准

GB/T 32000-2024 美丽宜居乡村建设指南

GB/T 15103-1994 绞盘机技术条件

GB/T 1094.4-2005 电力变压器第4部分：电力变压器和电抗器的雷电冲击和操作冲击试验导则

GB/T 4701.1-1984 钛铁化学分析方法硫酸铁铵容量法测定钛量

GB/T 44748.1-2024 筛分试验第1部分：使用金属丝编织网和金属穿孔板试验筛的方法

GB/T 9414.5-2018 维修性第5部分：测试性和诊断测试

GB/T 42195-2022 老年人能力评估规范

GB/T 34592-2017 汽车转向盘转向力-转向角检测仪

GB/T 17559-1998 信息技术系统间远程通信和信息交换 26插针接口连接器配合性尺寸和接触件编号分配

GB/T 5009.192-2003 动物性食品中克伦特罗残留量的测定

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

电子工业用气体 三氟化氮

电子工业用气体三氟化氮