标准概要

电子工业用气体三氟化氮

Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride

国家标准《电子工业用气体三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院。主要起草人王少楠、余启富、宋再卿、刘新明等。 GB/T 21287-2007 废止 GB/T 21287-2021 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 21287-2007

发布日期 2007-12-14

实施日期 2008-07-01

废止日期 2022-05-01

标准号 GB/T 21287-2007

发布日期 2007-12-14

实施日期 2008-07-01

废止日期 2022-05-01

起草单位

核工业理化工程研究院特气中心

黎明化工研究院

西南化工研究设计院

中核红华特种气体股份有限公司

国家标准物质研究中心

起草人

王少楠

余启富

宋再卿

刘新明

推荐标准

GB/T 22565-2008 金属材料薄板和薄带拉弯回弹评估方法

GB 16487.7-2005 进口可用作原料的固体废物环境保护控制标准废有色金属

GB/T 16491-1996 电子式万能试验机

GB/T 8390-1987 单杠

GB/T 4812-1995 特级原木

GB/T 34554-2017 建筑玻璃幕墙粘接结构可靠性试验方法

GB/T 41331-2022 染料产品中砷、汞、锑、硒的测定原子荧光光谱法

GB/T 4243-1984 锥柄长刃机用铰刀

GB/T 34707-2017 工业用邻氯甲苯

GB/T 5009.8-2008 食品中蔗糖的测定

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

社会团体

电子工业用气体 三氟化氮

电子工业用气体三氟化氮