标准概要

酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry

国家标准《酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位新光硅业科技责任有限公司。主要起草人王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平。 GB/T 24582-2009 废止 GB/T 24582-2023 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 24582-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2024-03-01

标准号 GB/T 24582-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2024-03-01

起草单位

新光硅业科技责任有限公司

起草人

王波

过惠芬

敖细平

吴道荣

梁洪

推荐标准

GB/T 14685-2022 建设用卵石、碎石

GB/T 13789-2022 用单片测试仪测量电工钢带（片）磁性能的方法

GB/T 18512-2008 高炉喷吹用煤技术条件

GB/T 7321-2017 定形耐火制品试样制备方法

GB/T 21536-2024 田径运动鞋

GB 17378.4-1998 海洋监测规范第4部分:海水分析

GB/T 23214-2008 饮用水中450种农药及相关化学品残留量的测定液相色谱-串联质谱法

GB/T 16273.6-2003 设备用图形符号第6部分: 运输、车辆检测及装载机械通用符号

GB/T 5358-2021 内六角花形螺钉旋具

GB/T 41541-2022 热红外遥感基本术语

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准程序

行业标准团体标准

酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质