标准概要

酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry

国家标准《酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位新光硅业科技责任有限公司。主要起草人王波、过惠芬、吴道荣、梁洪、敖细平。 GB/T 24582-2009 废止 GB/T 24582-2023 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 24582-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2024-03-01

标准号 GB/T 24582-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

废止日期 2024-03-01

起草单位

新光硅业科技责任有限公司

起草人

王波

过惠芬

敖细平

吴道荣

梁洪

推荐标准

GB 17466-1998 家用和类似用途固定式电气装置电器附件外壳的通用要求

GB 19585-2004 原产地域产品吐鲁番葡萄

GB/T 8056-2008 数据的统计处理和解释指数分布样本离群值的判断和处理

GB/T 960-1986 夹紧挡圈

GB/T 20899.7-2007 金矿石化学分析方法第7部分：铁量的测定

GB/T 31015-2024 公共信息导向系统基于无障碍需求的设计与设置原则和要求

GB/T 2099.8-2017 家用和类似用途插头插座第2-4部分：安全特低电压（SELV）插头插座的特殊要求

GB/T 11094-2007 水平法砷化镓单晶及切割片

GB/T 7227-2006 林业机械图形符号

GB/T 16145-2020 生物样品中放射性核素的γ能谱分析方法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质