硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

国家标准《硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、峨嵋半导体材料厂 。 主要起草人 何秀坤 、李静 、段曙光 、梁洪 。 GB/T 1558-1997 （全部代替） GB/T 1558-2009 废止 GB/T 1558-2023 （全部代替） 本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1391-0704。 采标中文名称:硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。