标准概要

电子工业用气体硅烷（SiH4）

Gas for electronic industry - Silane

国家标准《电子工业用气体硅烷（SiH4）》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。主要起草人余京松、周鹏云。 GB/T 15909-1995 （全部代替） GB/T 15909-2009 废止 GB/T 15909-2017 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 15909-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-05-01

废止日期 2017-12-01

全部代替标准 GB/T 15909-1995

标准号 GB/T 15909-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-05-01

废止日期 2017-12-01

全部代替标准 GB/T 15909-1995

起草单位

浙江大学材化学院半导体材料研究所

西南化工研究设计院

起草人

余京松

周鹏云

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