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标准概要
硅多晶
Specification for polycrystalline silicon
国家标准《硅多晶》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 峨眉半导体材料厂 。 主要起草人 罗莉萍 、张辉坚 、王炎 。 GB/T 12963-1996 (全部代替) GB/T 12963-2009 废止 GB/T 12963-2014 (全部代替) 本标准修改采用国际标准:SEMI M16-1103:2003。 采标中文名称:多晶硅规范。
基础信息
标准号
GB/T 12963-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 12963-1996
标准号
GB/T 12963-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 12963-1996
起草单位
峨眉半导体材料厂
起草人
罗莉萍
张辉坚
王炎
推荐标准
GB/T 16698-1996 α粒子发射率的测量大面积正比计数管法
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本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台,本内容目的仅在于分享交流与学习。
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