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  标准概要

硅多晶

Specification for polycrystalline silicon
国家标准《硅多晶》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 峨眉半导体材料厂 。 主要起草人 罗莉萍 、张辉坚 、王炎 。 GB/T 12963-1996 (全部代替) GB/T 12963-2009 废止 GB/T 12963-2014 (全部代替) 本标准修改采用国际标准:SEMI M16-1103:2003。 采标中文名称:多晶硅规范。
  基础信息
标准号 GB/T 12963-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
全部代替标准 GB/T 12963-1996
标准号 GB/T 12963-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
全部代替标准 GB/T 12963-1996
  起草单位
  峨眉半导体材料厂
  起草人
  罗莉萍
  张辉坚
  王炎
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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