标准概要

硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料厂。主要起草人杨旭、江莉。 GB/T 14144-1993 （全部代替） GB/T 14144-2009 现行本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1188-1105。采标中文名称:用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法。

基础信息

标准号 GB/T 14144-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14144-1993

标准号 GB/T 14144-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14144-1993

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

杨旭

江莉

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