标准概要

硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料厂。主要起草人杨旭、江莉。 GB/T 14144-1993 （全部代替） GB/T 14144-2009 现行本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 1188-1105。采标中文名称:用红外吸收法测量硅中间隙氧原子含量的标准方法。

基础信息

标准号 GB/T 14144-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14144-1993

标准号 GB/T 14144-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 14144-1993

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

杨旭

江莉

推荐标准

GB/T 14306-1993 VHS盒式录像磁带

GB/T 29771.1-2013 工业机械数字控制器第1部分：通用技术条件

GB/T 22238-2008 信息技术藏文编码字符集扩充集B

GB/T 44400-2024 电动振动台双台并激振动试验系统

GB/T 26476-2021 机械式停车设备术语

GB/T 15634-2008 行政、商业和运输业电子数据交换段目录

GB/T 9695.25-1990 肉与肉制品维生素PP含量测定

GB/T 10198.3-1988 传真机技术要求三类文件传真机

GB/T 14926.46-2008 实验动物钩端螺旋体检测方法

GB/T 15076.9-2008 钽铌化学分析方法钽中铁、铬、镍、锰、钛、铝、铜、锡、铅和锆量的测定

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准哪里发布

团体标准如何申报

ESG团体标准

护理十大团体标准

团体标准的申请

团体标准制定有哪些

团体标准有哪些

办理团体标准申请全流程

团体标准申报

水利学会团体标准