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  标准概要

硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
国家标准《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 。 主要起草人 袁金满 。 GB/T 4061-1983 (全部代替) GB/T 4061-2009 现行
  基础信息
标准号 GB/T 4061-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
全部代替标准 GB/T 4061-1983
标准号 GB/T 4061-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
全部代替标准 GB/T 4061-1983
  起草单位
  洛阳中硅高科技有限公司
  起草人
  袁金满
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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