标准概要

硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

国家标准《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位洛阳中硅高科技有限公司。主要起草人袁金满。 GB/T 4061-1983 （全部代替） GB/T 4061-2009 现行

基础信息

标准号 GB/T 4061-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 4061-1983

标准号 GB/T 4061-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 4061-1983

起草单位

洛阳中硅高科技有限公司

起草人

袁金满

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