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标准概要
硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
国家标准《硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 。 主要起草人 袁金满 。 GB/T 4061-1983 (全部代替) GB/T 4061-2009 现行
基础信息
标准号
GB/T 4061-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 4061-1983
标准号
GB/T 4061-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 4061-1983
起草单位
洛阳中硅高科技有限公司
起草人
袁金满
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