标准概要

硅片电阻率测定扩展电阻探针法

Test method for measuring resistivity of silicon wafer using spreading resistance probe

国家标准《硅片电阻率测定扩展电阻探针法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位南京国盛电子有限公司、宁波立立电子股份有限公司。主要起草人马林宝、骆红、刘培东、谭卫东、吕立平。 GB/T 6617-1995 （全部代替） GB/T 6617-2009 现行

基础信息

标准号 GB/T 6617-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 6617-1995

标准号 GB/T 6617-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 6617-1995

起草单位

南京国盛电子有限公司

宁波立立电子股份有限公司

起草人

马林宝

骆红

吕立平

刘培东

谭卫东

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