标准概要

硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials

国家标准《硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司。主要起草人杜娟、孙燕、卢立延。 GB/T 13387-1992 （全部代替） GB/T 13387-2009 现行本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF671-0705。采标中文名称:硅及其它电子材料晶片参考面长度测试方法。

基础信息

标准号 GB/T 13387-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 13387-1992

标准号 GB/T 13387-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 13387-1992

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

起草人

杜娟

孙燕

卢立延

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