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硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities
国家标准《硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。 主要起草人 李静 、何秀坤 、蔺娴 。 GB/T 24574-2009 现行 本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF1389-0704。 采标中文名称:Ⅲ-Ⅴ号混杂物中对单晶体硅的光致发光分析的测试方法。
  基础信息
标准号 GB/T 24574-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
标准号 GB/T 24574-2009
发布日期 2009-10-30
实施日期 2010-06-01
  起草单位
  信息产业部专用材料质量监督检验中心
  中国电子科技集团公司第四十六研究所
  起草人
  李静
  何秀坤
  蔺娴
  推荐标准
  申明
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