标准概要

硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities

国家标准《硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。主要起草人李静、何秀坤、蔺娴。 GB/T 24574-2009 现行本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF1389-0704。采标中文名称:Ⅲ－Ⅴ号混杂物中对单晶体硅的光致发光分析的测试方法。

基础信息

标准号 GB/T 24574-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

标准号 GB/T 24574-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心

中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人

李静

何秀坤

蔺娴

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