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标准概要
硅抛光片表面质量目测检验方法
Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
国家标准《硅抛光片表面质量目测检验方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 上海合晶硅材料有限公司 。 主要起草人 徐新华 、王珍 。 GB/T 6624-1995 (全部代替) GB/T 6624-2009 现行
基础信息
标准号
GB/T 6624-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 6624-1995
标准号
GB/T 6624-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 6624-1995
起草单位
上海合晶硅材料有限公司
起草人
徐新华
王珍
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