标准概要

硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers

国家标准《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位峨嵋半导体材料厂。主要起草人何兰英、王炎、张辉坚、刘阳。 GB/T 4058-1995 （全部代替） GB/T 4058-2009 现行

基础信息

标准号 GB/T 4058-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 4058-1995

标准号 GB/T 4058-2009

发布日期 2009-10-30

实施日期 2010-06-01

全部代替标准 GB/T 4058-1995

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

何兰英

王炎

张辉坚

刘阳

推荐标准

GB/T 27418-2017 测量不确定度评定和表示

GB/T 12250-1989 蒸汽疏水阀结构长度

GB/T 13880-2024 道路车辆牵引座互换性

GB/T 20303.3-2016 起重机司机室和控制站第3部分：塔式起重机

GB/T 28878.7-2016 空间科学实验转动部件规范第7部分：可靠性试验

GB/T 33977-2017 高压成套开关设备和高压/低压预装式变电站产生的稳态、工频电磁场的量化方法

GB/T 39460-2020 国际贸易业务数据规范汇付通知

GB/T 17067-1997 车间空气中三氧化二砷原子吸收光谱测定方法

GB/T 6553-2024 严酷环境条件下使用的电气绝缘材料评定耐电痕化和蚀损的试验方法

GB/T 41582-2022 核电厂事故源项快速估算方法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准费用是多少

CECS团体标准

农村土地分配标准

设立团体标准申请的条件

护理学会团体标准最新版

团体标准的办理

常德米粉团体标准

中国水产学会团体标准

团体素质拓展

团体标准的目的和意义