标准概要

微机电系统（MEMS）技术术语

Micro-electromechanical system technology - Terms

国家标准《微机电系统（MEMS）技术术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等。主要起草人丁红宇、刘伟、张苹、崔波等。 GB/T 26111-2010 废止 GB/T 26111-2023 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 26111-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2023-09-01

标准号 GB/T 26111-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2023-09-01

起草单位

中机生产力促进中心

清华大学

中北大学等

中国电子科技集团第13研究所

上海交通大学

起草人

丁红宇

刘伟

张苹

崔波

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申明

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