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微机电系统(MEMS)技术 术语

Micro-electromechanical system technology - Terms
国家标准《微机电系统(MEMS)技术 术语》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 中机生产力促进中心 、中国电子科技集团第13研究所 、清华大学 、上海交通大学 、中北大学等 。 主要起草人 丁红宇 、刘伟 、张苹 、崔波等 。 GB/T 26111-2010 废止 GB/T 26111-2023 (全部代替)
  基础信息
标准号 GB/T 26111-2010
发布日期 2011-01-10
实施日期 2011-10-01
废止日期 2023-09-01
标准号 GB/T 26111-2010
发布日期 2011-01-10
实施日期 2011-10-01
废止日期 2023-09-01
  起草单位
  中机生产力促进中心
  清华大学
  中北大学等
  中国电子科技集团第13研究所
  上海交通大学
  起草人
  丁红宇
  刘伟
  张苹
  崔波
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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