标准概要

硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

国家标准《硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、中国计量科学研究院、洛阳单晶硅有限责任公司等。主要起草人曹孜、孙燕、黄黎、高英等。 GB/T 26068-2010 废止 GB/T 26068-2018 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 26068-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2019-11-01

标准号 GB/T 26068-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

废止日期 2019-11-01

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

中国计量科学研究院

瑟米莱伯贸易（上海）有限公司

洛阳单晶硅有限责任公司等

起草人

曹孜

孙燕

黄黎

高英

推荐标准

GB/T 3871.5-2022 农业拖拉机试验规程第5部分：转向圆和通过圆直径

GB 19690-2005 原产地域产品余姚杨梅

GB/T 18476-2019 流体输送用聚烯烃管材耐裂纹扩展的测定慢速裂纹增长的试验方法（切口试验）

GB/T 44300-2024 往复式内燃燃气发电设备术语

GB/T 20562-2006 演播室串行数字信号抖动技术参数与测量方法

GB/T 34060-2017 蒸汽热量计算方法

GB/T 16478.3-1996 硝酸钍化学分析方法硫量的测定

GB 12463-1990 危险货物运输包装通用技术条件

GB/T 21848-2008 工业用化学品爆炸危险性的确定

GB/T 21892-2008 对氨基苯酚

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签