标准概要

电子工业用气体三氯化硼

Gases for electronic industry - Boron trichloride

国家标准《电子工业用气体三氯化硼》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院。主要起草人孙福楠、方华、庄鸿涛、周鹏云。 GB/T 17874-1999 （全部代替） GB/T 17874-2010 废止 GB/T 17874-2021 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 17874-2010

发布日期 2011-01-14

实施日期 2011-05-01

废止日期 2022-05-01

全部代替标准 GB/T 17874-1999

标准号 GB/T 17874-2010

发布日期 2011-01-14

实施日期 2011-05-01

废止日期 2022-05-01

全部代替标准 GB/T 17874-1999

起草单位

西南化工研究设计院

光明化工研究设计院

上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

孙福楠

方华

庄鸿涛

周鹏云

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