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标准概要
电子工业用气体 三氯化硼
Gases for electronic industry - Boron trichloride
国家标准《电子工业用气体 三氯化硼》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 西南化工研究设计院 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、光明化工研究设计院 。 主要起草人 孙福楠 、方华 、庄鸿涛 、周鹏云 。 GB/T 17874-1999 (全部代替) GB/T 17874-2010 废止 GB/T 17874-2021 (全部代替)
基础信息
标准号
GB/T 17874-2010
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
废止日期
2022-05-01
全部代替标准
GB/T 17874-1999
标准号
GB/T 17874-2010
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
废止日期
2022-05-01
全部代替标准
GB/T 17874-1999
起草单位
西南化工研究设计院
光明化工研究设计院
上海华爱色谱分析技术有限公司
起草人
孙福楠
方华
庄鸿涛
周鹏云
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