标准概要

重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

国家标准《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位宁波立立电子股份有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心。主要起草人李慎重、何良恩、许峰、刘培东、何秀坤。 GB/T 14847-1993 （全部代替） GB/T 14847-2010 现行 20240143-T-469 正在起草

基础信息

标准号 GB/T 14847-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

全部代替标准 GB/T 14847-1993

标准号 GB/T 14847-2010

发布日期 2011-01-10

实施日期 2011-10-01

全部代替标准 GB/T 14847-1993

起草单位

宁波立立电子股份有限公司

信息产业部专用材料质量监督检验中心

起草人

李慎重

何良恩

何秀坤

许峰

刘培东

推荐标准

GB/T 5089-2017 电风扇用电动机通用技术条件

GB/T 1980-1996 标准频率

GB/T 34962-2017 信息技术系统间远程通信和信息交换休眠主机代理

GB/T 32790-2016 铝及铝合金挤压焊缝焊合性能检验方法

GB 11725-1989 车间空气中含80%以上游离二氧化硅粉尘卫生标准

GB/T 20463.1-2006 防水用橡胶或塑料涂覆织物第1部分：聚氯乙烯涂覆织物

GB/T 31718-2015 病媒生物综合管理技术规范化学防治蝇类

GB/T 5274.1-2018 气体分析校准用混合气体的制备第1部分：称量法制备一级混合气体

GB/T 34617-2017 城镇供热系统能耗计算方法

GB/T 23103-2008 太阳伞

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

做团体标准哪里有

北京团体标准

短期团体意外

团体标准如何收费

做团体标准需要什么条件

团体标准参与费用

使用团体标准收费吗

团体标准公司

团体标准流程

团体标准费用是多少