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标准概要
用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
国家标准《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 四川新光硅业科技有限责任公司 、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 、天威四川硅业有限责任公司 。 主要起草人 梁洪 、刘畅 、陈自强 、张新 、蓝志 、张华端等 。 GB/T 29057-2012 废止 GB/T 29057-2023 (全部代替) 本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF1723-1104。 采标中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程。
基础信息
标准号
GB/T 29057-2012
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-10-01
废止日期
2024-03-01
标准号
GB/T 29057-2012
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-10-01
废止日期
2024-03-01
起草单位
四川新光硅业科技有限责任公司
天威四川硅业有限责任公司
乐山乐电天威硅业科技有限责任公司
起草人
梁洪
刘畅
蓝志
张华端
陈自强
张新
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