标准概要

硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

国家标准《硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所。主要起草人崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉。 GB/T 28276-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28276-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28276-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

中国电子科技集团第十三研究所

北京大学

中机生产力促进中心

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人

崔波

罗蓉

熊斌

陈海蓉

刘伟

张大成

推荐标准

GB 18265-2000 危险化学品经营企业开业条件和技术要求

GB/T 102-1986 六角头木螺钉

GB/T 14475-2024 号筒扬声器测量方法

GB/T 41866.3-2022 系统与软件工程信息技术项目绩效基准度量框架第3部分：报告编制

GB/T 37437-2019 正面安全气囊离位乘员保护技术要求

GB/T 10069.3-2024 旋转电机噪声测定方法及限值第3部分：噪声限值

GB 4479.2-1996 食品添加剂苋菜红铝色淀

GB/T 10598.1-2005 露天矿用牙轮钻机和旋转钻机

GB/T 23637-2009 船用主令控制器

GB/T 17817-2024 饲料中维生素A的测定高效液相色谱法

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

使用团体标准收费吗

团体标准有什么作用

团体标准和企业标准

农村土地征收标准多少钱一亩

怎样申报团体标准

团体标准几家单位制定

大湾区团体标准

参与团体标准

团体标准先进性评价