标准概要

硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

国家标准《硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所。主要起草人崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉。 GB/T 28276-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28276-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28276-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

中国电子科技集团第十三研究所

北京大学

中机生产力促进中心

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人

崔波

罗蓉

熊斌

陈海蓉

刘伟

张大成

推荐标准

GB/T 19749.2-2022 耦合电容器及电容分压器第2部分：接于线与地之间用于电力线路载波（PLC）的直流或交流单相耦合电容器

GB/T 37605-2019 耐蚀合金焊管

GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

GB/T 12689.3-2004 锌及锌合金化学分析方法镉量的测定火焰原子吸收光谱法

GB/T 11538-2006 精油毛细管柱气相色谱分析通用法

GB/T 9530-1988 电子陶瓷名词术语

GB/T 7995-1987 搪玻璃设备气密性试验方法

GB/T 15663.3-1995 煤矿科技术语地下开采

GB 44702-2024 直接接触人体皮肤的手表外观件中有害物质限量的规定

GB 21342-2008 焦炭单位产品能源消耗限额

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准代码

为什么要有团体标准

2021年农村土地征收标准

小蹦床团体标准

怎么查询团体标准

团体标准：推动行业规范化发展的关键力量

做团体标准制定的一般流程

找团体标准立项

团体标准在哪里查

团体标准怎么搞