标准概要

硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

国家标准《硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心。主要起草人夏伟锋、熊斌、冯飞、戈肖鸿、周再发、李玉玲等。 GB/T 28275-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

东南大学

中机生产力促进中心

重庆大学

中国电子科技集团第四十九研究所

起草人

夏伟锋

熊斌

周再发

李玉玲

冯飞

戈肖鸿

推荐标准

GB/T 33229-2016 电气元件用涂层铝及铝合金带材

GB/T 42610-2023 高压氢气瓶塑料内胆和氢气相容性试验方法

GB/T 19859-2005 地理标志产品库尔勒香梨

GB/T 9711.3-2005 石油天然气工业输送钢管交货技术条件第3部分:C级钢管

GB/T 9262-1988 货舱漆通用技术条件

GB/T 37547-2019 废塑料分类及代码

GB/T 13477.25-2024 建筑密封材料试验方法第25部分：耐霉菌性的测定

GB/T 23356-2009 卷烟烟气气相中一氧化碳的测定非散射红外法

GB/T 16939-1997 钢网架螺栓球节点用高强度螺栓

GB/T 12009.5-1992 异氰酸酯中酸度的测定

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

信用评价团体标准

协会标准是团体标准吗

浙江省团体标准查询

团体标准、行业标准、国家标准

找团体标准立项

中国团体标准

如何申请团体标准

制定一个团体标准需要多少费用

行业标准与团体标准的区别

团体标准如何申报