标准概要

硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

国家标准《硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心。主要起草人夏伟锋、熊斌、冯飞、戈肖鸿、周再发、李玉玲等。 GB/T 28275-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

东南大学

中机生产力促进中心

重庆大学

中国电子科技集团第四十九研究所

起草人

夏伟锋

熊斌

周再发

李玉玲

冯飞

戈肖鸿

推荐标准

GB/T 8187-2005 挤奶设备试验方法

GB/T 9312-1988 行式打印机通用技术条件

GB/T 18990.1-2003 黄体生成素（LH）检测试纸第1部分:优孕试纸

GB/T 20894-2007 小艇液体燃料厨灶

GB/T 3386.2-2007 工业过程控制系统用电动和气动模拟图纸记录仪第2部分：检查和例行试验导则

GB/T 3286.2-1998 石灰石、白云石化学分析方法二氧化硅量的测定

GB/T 19686-2005 建筑用岩棉、矿渣棉绝热制品

GB/T 18848-2002 育龄妇女信息系统（WIS）基础数据结构与分类代码

GB/T 38504-2020 喷雾消毒效果评价方法

GB/T 19421.10-2003 层状结晶二硅酸钠试验方法氟硅酸钾容量法测定二氧化硅含量

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体规范是指什么

协会标准是团体标准吗

百项团体标准

团体标准是什么意思

团体标准提案

如何团体标准申请办理

2021年农村土地征收标准

团体标准收费吗

化妆品团体标准

团体标准案例