标准概要

硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

国家标准《硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心。主要起草人夏伟锋、熊斌、冯飞、戈肖鸿、周再发、李玉玲等。 GB/T 28275-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28275-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

东南大学

中机生产力促进中心

重庆大学

中国电子科技集团第四十九研究所

起草人

夏伟锋

熊斌

周再发

李玉玲

冯飞

戈肖鸿

推荐标准

GB/T 2423.49-1997 电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Fe:振动----正弦拍频法

GB/T 38948-2020 沥青混合料低温抗裂性能评价方法

GB/T 45019-2024 道路用玄武岩纤维沥青混合料

GB/T 23137-2008 家用和类似用途热泵热水器

GB/T 25871-2010 结球生菜预冷和冷藏运输指南

GB/T 2423.10-1995 电工电子产品环境试验第二部分:试验方法试验Fc和导则:振动（正弦）

GB/T 44469-2024 牙科旋转器械技工室研磨器械

GB/T 17225-1998 中小学校教室采暖温度标准

GB/T 16821-1997 通信用电源设备通用试验方法

GB/T 17345-2008 亚麻打成麻

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

参编团体标准

团体标准的标准号

团体标准宣贯

商业保理团体标准

化妆品团体标准

团体标准调研

农产品团体标准

办理团体标准申请流程步骤

团体标准流程