标准概要

硅基MEMS制造技术版图设计基本规则

Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design

国家标准《硅基MEMS制造技术版图设计基本规则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学。主要起草人张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波等。 GB/T 28274-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28274-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28274-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

北京大学

中国电子科技集团第十三研究所

西北工业大学

中机生产力促进中心

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人

张大成

王玮

姜森林

崔波

刘伟

杨芳

推荐标准

GB/T 9249-1988 工业过程测量和控制系统用自动平衡式记录仪和指示仪

GB/T 41969-2022 建筑施工机械与设备超前地质钻机

GB 15193.6-2003 哺乳动物骨髓细胞染色体畸变试验

GB/T 37852-2019 玻璃容器以容器底部作基准的高度和口部不平行度试验方法

GB/T 8464-2023 铁制、铜制和不锈钢制螺纹连接阀门

GB/T 5526-2024 动植物油脂相对密度的测定

GB/T 26548.1-2018 手持便携式动力工具振动试验方法第1部分：角式和端面式砂轮机

GB/T 5480.4-2004 矿物棉及其制品试验方法第4部分:纤维平均直径

GB/T 3903.29-2022 鞋类外底试验方法剖层撕裂强度和层间剥离强度

GB/T 5705-1985 纺织名词术语（棉部分）

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

农村土地怎么确权和确权标准

参与团体标准

浙江省团体标准查询

团体标准在哪个地方可以查

团体标准业务

如何申请国家标准团体标准

民事集体诉讼的程序及条件

最新团体标准

团体标准如何使用

团体标准认证