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硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则

Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design
国家标准《硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则》 由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、中国电子科技集团第十三研究所 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、西北工业大学 。 主要起草人 张大成 、王玮 、刘伟 、杨芳 、姜森林 、崔波等 。 GB/T 28274-2012 现行
  基础信息
标准号 GB/T 28274-2012
发布日期 2012-05-11
实施日期 2012-12-01
标准号 GB/T 28274-2012
发布日期 2012-05-11
实施日期 2012-12-01
  起草单位
  北京大学
  中国电子科技集团第十三研究所
  西北工业大学
  中机生产力促进中心
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  起草人
  张大成
  王玮
  姜森林
  崔波
  刘伟
  杨芳
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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