标准概要

硅基MEMS制造技术版图设计基本规则

Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design

国家标准《硅基MEMS制造技术版图设计基本规则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学。主要起草人张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波等。 GB/T 28274-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 28274-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

标准号 GB/T 28274-2012

发布日期 2012-05-11

实施日期 2012-12-01

起草单位

北京大学

中国电子科技集团第十三研究所

西北工业大学

中机生产力促进中心

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人

张大成

王玮

姜森林

崔波

刘伟

杨芳

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