标准概要

离子束蚀刻机通用规范

General specification of ion beam etching system

国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十八研究所。主要起草人陈特超、周大良。 GB/T 15861-1995 （全部代替） GB/T 15861-2012 现行

基础信息

标准号 GB/T 15861-2012

发布日期 2012-11-05

实施日期 2013-02-15

全部代替标准 GB/T 15861-1995

标准号 GB/T 15861-2012

发布日期 2012-11-05

实施日期 2013-02-15

全部代替标准 GB/T 15861-1995

起草单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人

陈特超

周大良

推荐标准

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GB/T 17569-2021 压水堆核电厂物项分级

GB 4793.5-2008 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第5部分：电工测量和试验用手持探头组件的安全要求

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GB/T 43823-2024 纺织品抗病毒活性的测定

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GB/T 20186.1-2006 光纤用二次被覆材料第1部分:聚对苯二甲酸丁二醇酯

GB/T 38592-2020 纺织染整助剂产品中4,4'-亚甲基双（2-氯苯胺）的测定

申明

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