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  标准概要

离子束蚀刻机通用规范

General specification of ion beam etching system
国家标准《离子束蚀刻机通用规范》 由339-1(工业和信息化部(电子))归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。 主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十八研究所 。 主要起草人 陈特超 、周大良 。 GB/T 15861-1995 (全部代替) GB/T 15861-2012 现行
  基础信息
标准号 GB/T 15861-2012
发布日期 2012-11-05
实施日期 2013-02-15
全部代替标准 GB/T 15861-1995
标准号 GB/T 15861-2012
发布日期 2012-11-05
实施日期 2013-02-15
全部代替标准 GB/T 15861-1995
  起草单位
  中国电子科技集团公司第四十八研究所
  起草人
  陈特超
  周大良
  推荐标准
  申明
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  关键词标签
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