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标准概要
离子束蚀刻机通用规范
General specification of ion beam etching system
国家标准《离子束蚀刻机通用规范》 由339-1(工业和信息化部(电子))归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。 主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十八研究所 。 主要起草人 陈特超 、周大良 。 GB/T 15861-1995 (全部代替) GB/T 15861-2012 现行
基础信息
标准号
GB/T 15861-2012
发布日期
2012-11-05
实施日期
2013-02-15
全部代替标准
GB/T 15861-1995
标准号
GB/T 15861-2012
发布日期
2012-11-05
实施日期
2013-02-15
全部代替标准
GB/T 15861-1995
起草单位
中国电子科技集团公司第四十八研究所
起草人
陈特超
周大良
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申明
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