纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数

国家标准《纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 主要起草单位 中国计量科学研究院 、北京大学 、清华大学 、苏州苏大维格科技集团股份有限公司 、广纳四维（广东）光电科技有限公司 。 主要起草人 李伟 、李适 、朱振东 、李群庆 、陈林森 、李晓军 、高思田 、李琪 、施玉书 、黄鹭 、史瑞 、乔文 、华鉴瑜 。 GB/Z 43684-2024 现行 本标准等同采用IEC国际标准：IEC TS 62622:2012。 采标中文名称:纳米技术 人造光栅的描述，测量和尺寸质量参数。