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标准概要
半导体设备电源接口
Power supply interface for semiconductor equipment
国家标准《半导体设备电源接口》 由TC153(全国电子测量仪器标准化技术委员会)归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。 主要起草单位 中国人民解放军空军雷达学院 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 。 主要起草人 朱忠尼 、亓迎川 、梅昌义 、祁承超等 。 GB/T 15872-1995 (全部代替) GB/T 15872-2013 现行
基础信息
标准号
GB/T 15872-2013
发布日期
2013-12-17
实施日期
2014-05-15
全部代替标准
GB/T 15872-1995
标准号
GB/T 15872-2013
发布日期
2013-12-17
实施日期
2014-05-15
全部代替标准
GB/T 15872-1995
起草单位
中国人民解放军空军雷达学院
工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人
朱忠尼
亓迎川
梅昌义
祁承超
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