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标准概要
电子级水中微粒的仪器测试方法
Test method for particles in electronic grade water by instrument
国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》 由339-1(工业和信息化部(电子))归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。 主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国科学院半导体研究所 、中国电子技术标准化研究院 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。 主要起草人 王奕 、褚连青 、何秀坤 、段曙光等 。 GB/T 11446.9-1997 (全部代替) GB/T 11446.9-2013 现行
基础信息
标准号
GB/T 11446.9-2013
发布日期
2013-12-31
实施日期
2014-08-15
全部代替标准
GB/T 11446.9-1997
标准号
GB/T 11446.9-2013
发布日期
2013-12-31
实施日期
2014-08-15
全部代替标准
GB/T 11446.9-1997
起草单位
信息产业部专用材料质量监督检验中心
中国电子技术标准化研究院
中国科学院半导体研究所
中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人
王奕
褚连青
何秀坤
段曙光
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