标准概要

硅材料原生缺陷图谱

Metallographs collection for original defects of crystalline silicon

国家标准《硅材料原生缺陷图谱》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、东方电气集团峨眉半导体材料有限公司、南京国盛电子有限公司、杭州海纳半导体有公司、万向硅峰电子股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、中国有色金属工业标准化计量质量研究所。主要起草人孙燕、曹孜、翟富义、杨旭、谭卫东、黄笑容等。 GB/T 30453-2013 现行

基础信息

标准号 GB/T 30453-2013

发布日期 2013-12-31

实施日期 2014-10-01

标准号 GB/T 30453-2013

发布日期 2013-12-31

实施日期 2014-10-01

起草单位

有研半导体材料股份有限公司

南京国盛电子有限公司

万向硅峰电子股份有限公司

陕西天宏硅材料有限责任公司

东方电气集团峨眉半导体材料有限公司

杭州海纳半导体有公司

四川新光硅业科技有限责任公司

中国有色金属工业标准化计量质量研究所

起草人

孙燕

曹孜

谭卫东

黄笑容

翟富义

杨旭

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申明

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