标准概要

硅外延用三氯氢硅

Trichlorosilane for silicon epitaxial

国家标准《硅外延用三氯氢硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司。主要起草人赵立奎、张莉萍、谭卫东、金龙、刘新军、郑华荣。 GB/T 30652-2014 废止 GB/T 30652-2023 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 30652-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

废止日期 2024-03-01

标准号 GB/T 30652-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

废止日期 2024-03-01

起草单位

中锗科技有限公司

南京中锗科技股份有限公司

南京国盛电子有限公司

起草人

赵立奎

张莉萍

刘新军

郑华荣

谭卫东

金龙

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申明

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