标准概要

碳化硅单晶抛光片

Polished monocrystalline silicon carbide wafers

国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。主要起草人陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘春俊、刘振洲。 GB/T 30656-2014 废止 GB/T 30656-2023 （全部代替）

基础信息

标准号 GB/T 30656-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

废止日期 2023-10-01

标准号 GB/T 30656-2014

发布日期 2014-12-31

实施日期 2015-09-01

废止日期 2023-10-01

起草单位

北京天科合达蓝光半导体有限公司

中国科学院物理研究所

起草人

陈小龙

郑红军

刘春俊

刘振洲

张玮

郭钰

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申明

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