标准概要

碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法

Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching

国家标准《碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。主要起草人丁丽、周智慧、郝建民、蔺娴等。 GB/T 30868-2014 现行 20231108-T-469 正在征求意见

基础信息

标准号 GB/T 30868-2014

发布日期 2014-07-24

实施日期 2015-02-01

标准号 GB/T 30868-2014

发布日期 2014-07-24

实施日期 2015-02-01

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所

中国电子技术标准化研究院

起草人

丁丽

周智慧

郝建民

蔺娴

推荐标准

GB/T 42406-2023 工业云服务知识库接入与管理要求

GB/T 13553-1996 胶粘剂分类

GB/T 6653-2017 焊接气瓶用钢板和钢带

GB/T 41106.2-2021 大型游乐设施检查、维护保养与修理第2部分：轨道类

GB/T 17322.8-1998 农药登记卫生用杀虫剂的室内药效评价毒饵

GB/T 6753.1-1986 涂料研磨细度的测定

GB/T 20529.1-2006 企业信息分类编码导则第1部分：原则与方法

GB/T 41964-2022 摄影冲洗废液氨态氮含量的测定（微扩散法）

GB/T 17152-1997 运费代码（FCC）运费和其他费用的统一描述

GB/T 17547-1998 信息技术开放系统互连数据链路服务定义

申明

本内容来源于国家标准化管理委员会及相关官方平台，本内容目的仅在于分享交流与学习。

关键词标签

团体标准良好行为评价

标准团体标准

团体标准申请费用一般多少钱

团体标准管理规定

羽绒服团体标准

团体标准制定需要些什么材料

类器官团体标准

短期团体意外

团体标准在哪个地方可以查

团体标准申请流程是什么