标准概要

电子工业用气体四氟化硅

Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride

国家标准《电子工业用气体四氟化硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。主要起草单位核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司。主要起草人邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华等。 GB/T 31058-2014 现行

基础信息

起草单位

标准号

GB/T 31058-2014

发布日期

2014-12-22

实施日期

2015-07-01

标准类别

产品

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20 71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

主管部门

国家标准委

起草人

核工业理化工程研究院华核新技术开发公司

绿菱电子材料（天津）有限公司

贵州大学

佛山市华特气体有限公司

上海华爱色谱分析技术有限公司

西南化工研究设计院有限公司

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